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小面積上涂層厚度的測量是個頭疼的問題，怎么選擇小面積涂層測厚儀呢？

我們先了解一下關(guān)于涂層厚度測量的基本知識，再逐步分析小面積上的涂層厚度的測量方式。涂層也叫覆層，涂層覆層厚度的測量方法主要有：楔切法，光截法，電解法，厚度差測量法，稱重法，X射線熒光法，β射線反向散射法，電容法、磁性測量法及渦流測量法等。這些方法中前五種是有損檢測，測量手段繁瑣，速度慢，多適用于抽樣檢驗(yàn)。生產(chǎn)中磁性法和渦流法是常用的涂層厚度測量方式，估計(jì)要占到95%以上。

X射線和β射線法是無接觸無損測量，但裝置復(fù)雜昂貴，測量范圍較小。因有放射源，使用者必須遵守射線防護(hù)規(guī)范。X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測厚時采用。

申明一下，我司（無錫君達(dá)儀器）所知道的知識也是有限的，太深奧的關(guān)于涂層厚度的測量機(jī)理也不懂，我們只是就自己掌握的東西和大家交流。文章謝絕復(fù)制和轉(zhuǎn)摘！

測量涂層厚度采用磁感應(yīng)原理時，利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來測定覆層厚度。也可以測定與之對應(yīng)的磁阻的大小，來表示其覆層厚度。覆層越厚，則磁阻越大，磁通越小。

測量涂層厚度采用電渦流原理時，高頻交流信號在測頭線圈中產(chǎn)生電磁場，測頭靠近導(dǎo)體時，就在其中形成渦流。測頭離導(dǎo)電基體愈近，則渦流愈大，反射阻抗也愈大。這個反饋?zhàn)饔昧勘碚髁藴y頭與導(dǎo)電基體之間距離的大小，也就是導(dǎo)電基體上非導(dǎo)電覆層厚度的大小。

在涂層厚度的實(shí)際測量中，影響測量數(shù)據(jù)的度的因素有很多，比如邊緣效應(yīng)，表面粗糙度以及變形基體的磁性能電性能等。

這里講到了邊緣效應(yīng)，就關(guān)乎小面積上涂層厚度的測量了。當(dāng)工件面積很小，比如直徑小于5毫米，那么無論是磁感應(yīng)還是電渦流涂層厚度測量原理，傳感器所發(fā)出的磁場或電渦流，作用在基體上后，電磁場將會是不規(guī)則的，這就給主機(jī)的計(jì)算帶來的困難，具體表現(xiàn)為無顯示，或即使有顯示，測試涂層厚度數(shù)據(jù)和真實(shí)涂層厚度數(shù)據(jù)差異很大。

用戶如果自己的產(chǎn)品面積很小，用普通的測厚儀是無法測量的，常規(guī)的涂層測厚儀要求工件面積直徑10mm以上。因?yàn)樾∶娣e的涂層厚度的測量要求高同時市場需求很小，這就給涂層測厚儀的研發(fā)帶來了效益上的考慮。目前，國內(nèi)的小面積涂層厚度測量還是個薄弱環(huán)節(jié)，雖然標(biāo)稱zui小可測5毫米，但效果差強(qiáng)人意。國外（德國）的有測到磁性3毫米渦流2毫米的，使用起來還可以。國內(nèi)的如TT260配F400探頭和CNO2探頭，探頭和主機(jī)需要較真（用戶不要動手?。﹪獾?/span>EPK的1100配N02探頭和F05探頭。具體的還需要進(jìn)一步交流。

同時，正因?yàn)樾∶娣e的涂層厚度的測量基本已經(jīng)達(dá)到本身小面積涂層厚度測量的極限，所以，在小面積的涂層厚度的實(shí)際測試時，涂層厚度的測試精度，客戶不要太較真。

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